Microdex电动风囊泵（Bellows Pump）也称电动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。EDC系列单次吐出电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水、氢氟酸和其他药液。高精度电动风囊泵常用于匀胶机、涂胶显影设备、纳米压印设备、湿法去胶设备、 湿法刻蚀设备、光刻机等半导体设备的配套。
넶0
2026-08-31
